发明名称 |
APPARATUS FOR PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06330307(A) |
申请公布日期 |
1994.11.29 |
申请号 |
JP19930114458 |
申请日期 |
1993.05.17 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
YOSHII SHIGEJI |
分类号 |
C23C14/34;C23C14/56;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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