发明名称 Verfahren einer Verarbeitung von Vakuumdruckinformation in einer Vakuumeinheit zur Versagensvorkenntnis
摘要
申请公布号 DE69214976(D1) 申请公布日期 1996.12.12
申请号 DE19926014976 申请日期 1992.02.19
申请人 SMC K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SUGANO, SHIGERU, C/O SMC KABUSHIKI KAISHA, MINATO KU, TOKYO 105, JP;SAITO, MITSUHIRO, C/O SMC KABUSHIKI KAISHA, MINATO-KU, TOKYO 105, JP;NAGAI, SHIGEKAZU, C/O SMC KABUSHIKI KAISHA, MINATO-KU, TOKYO 105, JP;ITO, YOSHIHARU, C/O SMC KABUSHIKI KAISHA, MINATO-KU, TOKYO 105, JP;TAKEBAYASHI, TAKASHI,C/O SMC KABUSHIKI KAISHA, MINATO-KU, TOKYO 105, JP
分类号 B25B11/00;G01L19/12;(IPC1-7):G01L21/00;B65H7/16 主分类号 B25B11/00
代理机构 代理人
主权项
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