发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR SHAPING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1092994(A) 申请公布日期 1998.04.10
申请号 JP19960238789 申请日期 1996.09.10
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 KATSUMA TSUNEYASU;YUASA FUMITAKA;KUMADA MAKOTO;TABUCHI ZENICHIRO
分类号 B21D28/00;H01L23/50;(IPC1-7):H01L23/50 主分类号 B21D28/00
代理机构 代理人
主权项
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