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经营范围
发明名称
DRYING METHOD FOR SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号
JPH1092786(A)
申请公布日期
1998.04.10
申请号
JP19960244480
申请日期
1996.09.17
申请人
FUJI ELECTRIC CO LTD
发明人
MITAMURA MASANORI
分类号
F26B5/08;F26B11/04;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
F26B5/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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