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发明名称 IMPROVED METHOD AND APPARATUS FOR FILM-THICKNESS MEASUREMENTS
摘要
申请公布号 KR20010033388(A) 申请公布日期 2001.04.25
申请号 KR1020007006857 申请日期 2000.06.20
申请人 发明人
分类号 G01N21/63 主分类号 G01N21/63
代理机构 代理人
主权项
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