一种可更换滤片的过滤排毒筒

摘要

本实用新型公开了一种可更换滤片的过滤排毒筒。它包括筒体(1)，筒体内设有滤片(2)，滤片(2)上设有一组均匀排列的通孔(3)，筒体(1)外缠绕有冷却管(4)，冷却管(4)一端伸入到筒体(1)内；筒体(1)的筒壁上设有梯台(5)，滤片(2)支撑梯台(5)上，在筒体(1)上部设有筒口(6)，筒口(6)上设有盖子(7)，盖子(7)上设有输入管(8)。与现有技术相比，本实用新型当筒体内滤片上堆积的有毒物质过多后，可以更换筒体内的滤片，不至于使整个排毒过滤筒报废，节约生产成本，也可以提高半导体硅片扩散合格率。

主权项

1、一种可更换滤片的过滤排毒筒，它包括筒体(1)，筒体内设有滤片(2)，滤片(2)上设有一组均匀排列的通孔(3)，筒体(1)外缠绕有冷却管(4)，冷却管(4)一端伸入到筒体(1)内；其特征在于：筒体(1)的筒壁上设有梯台(5)，滤片(2)放置在梯台(5)上，在筒体(1)上部设有筒口(6)，筒口(6)上设有盖子(7)，盖子(7)上设有输入管(8)。