| 摘要 |
기판을 제1 방향으로 반송하고, 기판의 피처리면을 처리하는 기판 처리 장치에 있어서, 기판을 제1 방향으로 안내하는 제1 안내 부재와, 상기 제1 안내 부재로부터 안내된 기판을 안내하는 제2 안내 부재와, 제1 안내 부재와 2 안내 부재와의 사이에서 기판에 장력을 부여하고, 제1 방향에 교차하는 제2 방향의 기판의 치수를 축소시키는 장력 부여 기구와, 제1 안내 부재와 제2 안내 부재와의 사이에서, 기판의 피처리면을 처리하는 처리 장치를 구비한다. |
