| 发明名称 | 基板载置台以及具备其的基板处理装置 | ||
| 摘要 | 基板载置台(10)包括：载置基板(S)的载置面(13)；设置于载置面(13)，用于吸附基板(S)的吸附槽(15)；和在载置面(13)的至少一部分随机地设置的多个微小的凹凸(16)。 | ||
| 申请公布号 | CN104603927B | 申请公布日期 | 2016.10.26 |
| 申请号 | CN201380045572.5 | 申请日期 | 2013.08.22 |
| 申请人 | 夏普株式会社 | 发明人 | 原田吉典 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 一种基板载置台，其特征在于，包括：载置基板的载置面；设置于所述载置面，用于吸附所述基板的吸附槽；和在所述载置面的一部分随机地设置的多个微小的凹凸，在没有设置所述微小的凹凸的区域中包含所述载置面的外周部和设置所述吸附槽的区域以外的区域，所述微小的凹凸形成于隔着比所述吸附槽的宽度大的间隔排列成同心圆状的多个环状区域。 | ||
| 地址 | 日本，大阪府 | ||