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经营范围
发明名称
ELECTRON BEAM SCANNING METHOD FOR ELECTRON BEAM APPLICATION DEVICE
摘要
申请公布号
JPS64634(A)
申请公布日期
1989.01.05
申请号
JP19870154379
申请日期
1987.06.23
申请人
HITACHI LTD
发明人
YAMADA MITSUHIKO;WATABE TADAO
分类号
H01J37/28;H01J37/147
主分类号
H01J37/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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