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发明名称 FORMATION OF PATTERN
摘要
申请公布号 JPH02206110(A) 申请公布日期 1990.08.15
申请号 JP19890027148 申请日期 1989.02.06
申请人 SONY CORP 发明人 ISHIBASHI AKIRA;FUNATO KENJI;MORI YOSHIFUMI
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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