| 发明名称 |
NEGATIVE TYPE DRY FILM PHOTORESIST COMPOSITION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH03119014(A) |
申请公布日期 |
1991.05.21 |
| 申请号 |
JP19890257039 |
申请日期 |
1989.10.03 |
| 申请人 |
MITSUBISHI PETROCHEM CO LTD |
发明人 |
NAKANO YOSHITOMO;HIMORI SHUNICHI;KADA MASUMI;ITO SATOSHI |
| 分类号 |
G03F7/033;C08F2/48;C08F285/00;C08F287/00 |
主分类号 |
G03F7/033 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
