用于形成图案的抗蚀剂及使用其形成图案的方法

摘要

一种用于形成图案的方法包括在基板上形成蚀刻对象层；在蚀刻对象层上施加抗蚀剂，其中抗蚀剂包括光引发剂以及包含乙烯基官能团和亲水官能团的液态预聚物；使用具有形成在其中的印记的模板成形抗蚀剂；以及在模板对应于印记成形抗蚀剂的同时使抗蚀剂硬化以形成抗蚀图案。

主权项

1、一种用于形成图案的抗蚀剂，包括：光引发剂；具有化学式2所示结构的液态预聚物；和光敏产酸剂，如果线性聚合物的链在引发之后太长，该光敏产酸剂抑制反应，并且同时如果线性聚合物的链太短，该光敏产酸剂则促进反应；其中线性聚合物是由该液态预聚物所形成，以及其中液态预聚物为所述抗蚀剂的80至90WT％，光引发剂为所述抗蚀剂的10至15WT％，而光敏产酸剂为所述抗蚀剂的2至8WT％，[化学式2]