基板へのシリコン注入およびそのためのシリコン前駆体組成物の提供

摘要

組成物、システム、方法は基板にシリコンおよび／またはシリコンイオンを注入するために記載され、対応するシリコン前駆体からシリコンおよび／またはシリコンイオンの発生、ならびに基板へのシリコンおよび／またはシリコンイオンの注入を含む。