使用曝光源及反射表面制造光学薄膜之方法及系统

摘要

本发明系关于一种用于制造诸如用于光校准之光学薄膜(40)之曝光系统(5)，其中光学薄膜(40)具有感光层(20)及基材(10)。曝光系统(5)自光源(1)将曝光光束导引通过光学薄膜(40)，接着再使用反射表面(58)以将曝光能量往回反射通过光学薄膜(40)，以增进或反之进一步调节感光层(20)之光反应。