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经营范围
发明名称
REMOVING HARDENED ORGANIC MATERIALS DURING FABRICATION OF INTEGRATED CIRCUITS.
摘要
申请公布号
EP0065977(A4)
申请公布日期
1986.02.13
申请号
EP19820900172
申请日期
1981.11.20
申请人
WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED
发明人
KINSBRON, ELIEZER;VRATNY, FREDERICK
分类号
H01L21/30;G03F7/42;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/70
主分类号
H01L21/30
代理机构
代理人
主权项
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