发明名称 REMOVING HARDENED ORGANIC MATERIALS DURING FABRICATION OF INTEGRATED CIRCUITS.
摘要
申请公布号 EP0065977(A4) 申请公布日期 1986.02.13
申请号 EP19820900172 申请日期 1981.11.20
申请人 WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED 发明人 KINSBRON, ELIEZER;VRATNY, FREDERICK
分类号 H01L21/30;G03F7/42;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/70 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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