| 发明名称 |
IONENPROJEKTIONSEINRICHTUNG FUER SCHATTENPROJEKTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
ATA317386(A) |
申请公布日期 |
1991.02.15 |
| 申请号 |
AT19860003173 |
申请日期 |
1986.11.27 |
| 申请人 |
IMS IONEN MIKROFABRIKATIONS SYSTEME GESELLSCHAFT M.B.H.;OESTERREICHISCHE INVESTITIONSKREDIT AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
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| 分类号 |
H01J37/08;H01J37/12;H01J37/147;H01J37/30;(IPC1-7):H01J37/30 |
主分类号 |
H01J37/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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