发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0661460(A) 申请公布日期 1994.03.04
申请号 JP19920233031 申请日期 1992.08.07
申请人 CLARION CO LTD 发明人 KAWAMURA SHIGERU
分类号 H01L27/118;H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/118 主分类号 H01L27/118
代理机构 代理人
主权项
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