发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH0661451(A) |
申请公布日期 |
1994.03.04 |
申请号 |
JP19920213121 |
申请日期 |
1992.08.11 |
申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
TANAKA IZUMI;SAITO HITOSHI |
分类号 |
H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108 |
主分类号 |
H01L27/04 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|