| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0661262(A) |
申请公布日期 |
1994.03.04 |
| 申请号 |
JP19920212679 |
申请日期 |
1992.08.10 |
| 申请人 |
YOKOGAWA ELECTRIC CORP |
发明人 |
OKA SADAJI;MIURA AKIRA;UCHIDA AKIRA;KAMATA HIROMI;KOBAYASHI SHINJI;YAGIHARA TAKESHI;NONOYAMA ATSUSHI;FUJITA TADASHIGE |
| 分类号 |
H01L21/306;H01L21/331;H01L21/338;H01L29/205;H01L29/73;H01L29/737;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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