| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0661154(A) |
申请公布日期 |
1994.03.04 |
| 申请号 |
JP19920209935 |
申请日期 |
1992.08.06 |
| 申请人 |
RYODEN SEMICONDUCTOR SYST ENG KK;MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
UDA YUKIO;OSAKI SABURO |
| 分类号 |
C30B25/14;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
