| 发明名称 |
METHOD OF CLEANSING AND PROCESSING SURFACE OF SEMICONDUCTOR DEVICE OR THE LIKE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08330266(A) |
申请公布日期 |
1996.12.13 |
| 申请号 |
JP19960137130 |
申请日期 |
1996.05.30 |
| 申请人 |
TEXAS INSTR INC <TI> |
发明人 |
ROBAATO EMU UORASU;MONTE EI DAGURASU |
| 分类号 |
B08B7/00;B81B3/00;B81C1/00;G02B26/08;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B08B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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