CAPTEUR A JAUGE DE CONTRAINTE UTILISANT L'EFFET PIEZORESISTIF ET SON PROCEDE DE FABRICATION

摘要

L'invention concerne la réalisation d'un capteur à jauge de contrainte utilisant l'effet piézorésistif, comportant une structure (1) en matériau monocristallin servant de support à au moins une jauge de contrainte (2) réalisée en matériau semi-conducteur de dopage donné. La jauge de contrainte (2) est un élément élaboré selon un plan cristallographique déterminé afin de favoriser son coefficient de piézorésistivité. La structure (1) est un élément gravé selon un plan cristallographique déterminé pour favoriser sa gravure. La jauge de contrainte (2) est fixée sur la structure (1) par des moyens de solidarisation de manière à obtenir ledit capteur.