SCANNING EXPOSURE APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD USING THE SAME,申请号KR19940029400-传众专利搜索

发明名称	SCANNING EXPOSURE APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD USING THE SAME
摘要
申请公布号	KR0159799(B1)	申请公布日期	1999.02.01
申请号	KR19940029400	申请日期	1994.11.10
申请人	CANON KABUSHIKI KAISHA	发明人	MORI, TETSUZO
分类号	H01L21/027;G03F7/20;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
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