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发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 KR100255401(B1) 申请公布日期 2000.06.01
申请号 KR19930024868 申请日期 1993.11.22
申请人 SONY CORPORATION 发明人 YANAGIDA, TOSHIHARU
分类号 H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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