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发明名称
摘要
申请公布号 JP3341179(B2) 申请公布日期 2002.11.05
申请号 JP19940009945 申请日期 1994.01.31
申请人 发明人
分类号 H05H1/46;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/24;(IPC1-7):H05H1/24 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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