溅镀式镀膜装置及镀膜方法

摘要

本发明涉及一种溅镀式镀膜装置，其包括一个镀膜工作室；至少一靶材，其设置在所述镀膜工作室内，用于对工件进行镀膜；一个运载装置，其沿所述镀膜工作室的底部的延伸方向运载所述工件，该运载装置包括一个承载架和至少一个承载轴，所述至少一个承载轴用来承载所述工件，并带动所述工件一起绕至少一个承载轴中心轴旋转；以及一辅助旋转单元，该辅助旋转单元用于协助所述至少一个承载轴做所述绕中心轴旋转。所述溅镀式镀膜装置及镀膜方法可对工件的表面进行镀膜，达到该表面膜层均匀的效果。

主权项

【权利要求1】一种溅镀式镀膜装置，其包括：一个镀膜工作室；一个运载装置，该运载装置包括一个传输装置、一个固定架及至少一个承载轴，所述传输装置设置于所述工作室的底部，并可沿该工作室的底部的延伸方向做线性运动，所述固定架设置于所述传输装置上，并由所述传输装置带动沿所述镀膜工作室的底部的延伸方向做线性运动，该至少一个承载轴设置于该固定架之上，且用于承载工件，并且带动所述工件绕其旋转；以及至少一靶材，其设置在所述镀膜工作室内，用于对所述工件进行镀膜。