发明名称 |
酸化インジウム含有層を製造するための配合物、当該層の製造法及び当該層の使用 |
摘要 |
本発明は、三ハロゲン化インジウムInX3[式中、X=F、Cl、Br、Iである]を、式R’2NH[式中、R’=アルキルである]の第二級アミンと、前記三ハロゲン化インジウムに対して8:1〜20:1のモル比で、一般式ROH[式中、R=アルキルである]のアルコールの存在下に反応させることによって製造可能な少なくとも1種のインジウムアルコキシド化合物を少なくとも1種の溶媒に溶解することによって製造可能な液状配合物、前記液状配合物の製造法、酸化インジウム含有層若しくは半導体層を製造するための前記液状配合物の使用並びに本発明による配合物を使用した酸化インジウム含有層の製造法に関する。 |
申请公布号 |
JP2016534993(A) |
申请公布日期 |
2016.11.10 |
申请号 |
JP20160522346 |
申请日期 |
2014.04.28 |
申请人 |
エボニック デグサ ゲーエムベーハーEvonik Degussa GmbH |
发明人 |
ユルゲン シュタイガー;アレクセイ メルクロフ;アーネ ホッペ |
分类号 |
C07C31/28;C01G15/00;C07F5/00;C09D1/00;C23C18/12;H01L21/336;H01L21/368;H01L29/786;H01L31/0224 |
主分类号 |
C07C31/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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