Gestapelte dünne Kanäle zur Erhöhungs- und Leckverbesserung

摘要

Eine Hohlkanalspeichervorrichtung umfasst eine Sourceschicht, eine auf der Sourceschicht gebildete erste Hohlkanalsäulenstruktur und eine auf der ersten Hohlkanalsäulenstruktur gebildete zweite Hohlkanalsäulenstruktur. Die erste Hohlkanalsäulenstruktur umfasst einen ersten dünnen Kanal und die zweite Hohlkanalsäulenstruktur umfasst einen zweiten dünnen Kanal, der sich in Kontakt mit dem ersten dünnen Kanal befindet. In einer beispielhaften Ausführungsform umfasst der erste dünne Kanal ein erstes Dotierungsniveau; und der zweite dünne Kanal umfasst ein zweites Dotierungsniveau, das sich von dem ersten Dotierungsniveau unterscheidet. In einer anderen beispielhaften Ausführungsform sind das erste und das zweite Dotierungsniveau gleich.