发明名称 SUPPORT FOR A MOVABLE ELEMENT SUPPORT SYSTEM LITHOGRAPHY APPARATUS METHOD OF SUPPORTING A MOVABLE ELEMENT AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要 이동가능 요소를 위한 지지대는 고정자 요소, 상기 고정자 요소 상에 탑재되는 중력 보상기 필드 유도 요소; 및 상기 고정자 요소 상에 탑재되는 복수의 토크 보상기 필드 유도 요소를 포함하고, 이때 상기 중력 보상기 필드 유도 요소는 상기 고정자 요소와 상기 이동가능 요소 사이의 갭 내의 자기장을 제어하여 상기 이동가능 요소에 병진력을 인가하도록 구성되고, 상기 토크 보상기 필드 유도 요소는 상기 고정자 요소와 상기 이동가능 요소 사이의 갭 내의 자기장을 제어하여 상기 이동가능 요소에 토크를 인가하도록 구성되고, 상기 토크는 상기 중력 보상기 필드 유도 요소에 의해 인가된 병진력의 방향에 실질적으로 수직인 제1 축을 중심으로 하는 것이다.
申请公布号 KR101688906(B1) 申请公布日期 2016.12.22
申请号 KR20157002515 申请日期 2013.05.15
申请人 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. 发明人 분 피델루스;홀 스벤;피셔 올로프
分类号 G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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