真空泵

摘要

本发明提供一种真空泵，在滚珠轴承(8)与底座(2)的支撑部(2a)之间插装有振动抑制机构(50)。振动抑制机构(50)包括层叠着的多个滑动构件(51)、滑动构件(52)及弹性体(53)。在所述振动抑制机构(50)中，将滑动构件(51)、滑动构件(52)设为多个，并且将滑动面设为多个，因此可增大振动抑制效果。

主权项

一种真空泵，其特征在于，利用滚珠轴承对形成有排气功能部的转子进行支撑，并借由马达使所述转子高速旋转而进行真空排气，所述真空泵包括：轴，设置在所述转子上；所述滚珠轴承，安装在所述轴上；支撑构件，配置在所述轴的轴向上的所述滚珠轴承的上方；以及振动抑制机构，插装在所述支撑构件与所述滚珠轴承之间；所述振动抑制机构包括：弹性体，插装在所述支撑构件与所述滚珠轴承之间；以及多个滑动构件，层叠并插装在所述弹性体与所述滚珠轴承之间，所述多个滑动构件包括至少两种滑动构件，所述多个滑动构件的表面的材料各不相同。