发明名称 HEAT GENERATING MEMBER FOR VACUUM DEPOSITION OF ALUMINUM AND ITS PRODUCTION METHOD
摘要
申请公布号 JPS5360335(A) 申请公布日期 1978.05.30
申请号 JP19760135141 申请日期 1976.11.12
申请人 SHINKU YAKIN KK 发明人 HAYASHI CHIKARA
分类号 C23C14/06;C23C14/26 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
地址