发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5360180(A) 申请公布日期 1978.05.30
申请号 JP19760135783 申请日期 1976.11.10
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OSADA YOSHIHIRO;NAKAYAMA HARUO
分类号 H01L29/78;H01L21/8234;H01L27/06 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
地址