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发明名称 FORMATION OF SILICON CONTAINING FILM
摘要
申请公布号 JPS62249415(A) 申请公布日期 1987.10.30
申请号 JP19870043222 申请日期 1987.02.27
申请人 DOW CORNING CORP 发明人 SUDARUSANAN BARAPURASU
分类号 H01L21/205;C23C16/24;C23C16/30;C23C16/32;C23C16/42;H01L31/04 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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