| 发明名称 |
METHOD FOR PROCESSING SURFACE OF QUARTZ GLASS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07315872(A) |
申请公布日期 |
1995.12.05 |
| 申请号 |
JP19940332956 |
申请日期 |
1994.12.14 |
| 申请人 |
SHINETSU QUARTZ PROD CO LTD |
发明人 |
KENMOCHI KATSUHIKO;ENDO MAMORU |
| 分类号 |
C03C3/06;C03C15/00;H01L21/22;(IPC1-7):C03C15/00 |
主分类号 |
C03C3/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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