Verfahren zur Ablagerung von anhaftenden Wolframsilicid-Filmen,申请号DE19946004415T-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zur Ablagerung von anhaftenden Wolframsilicid-Filmen
摘要
申请公布号	DE69404415(T2)	申请公布日期	1997.12.04
申请号	DE19946004415T	申请日期	1994.09.13
申请人	APPLIED MATERIALS, INC., SANTA CLARA, CALIF., US	发明人	CHANG, MEI, CUPERTINO, CA 95014, US;TELFORD, SUSAN, CUPERTINO, CA 95014, US;TSENG, MENG CHU, SARATOGA, CA 95070, US
分类号	C01B33/107;C23C16/02;C23C16/42;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/42	主分类号	C01B33/107
代理机构		代理人
主权项
地址