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发明名称
PROCESS AND APPARATUS FOR ETCHING SEMICONDUCTOR WAFERS
摘要
申请公布号
KR0161794(B1)
申请公布日期
1999.02.01
申请号
KR19957002321
申请日期
1995.06.08
申请人
MEMC ELECTRONIC MATERIALS INC.
发明人
ERK, HENRY F.;VANDAMME, ROLAND R.
分类号
A61K31/415;B44C1/22;C07D233/06;H01L21/00;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
A61K31/415
代理机构
代理人
主权项
地址
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