发明名称 METHOD OF CONTAMINATING A PART OF SILICON WAFER USING METALLIC IMPURITY
摘要
申请公布号 KR20070046567(A) 申请公布日期 2007.05.03
申请号 KR20050103394 申请日期 2005.10.31
申请人 SILTRON INC. 发明人 LEE, SEUNG WOOK;WEE, SANG WOOK
分类号 H01L21/66;H01L21/02 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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