产生圆形光斑的准分子激光器

摘要

本发明公开了一种产生圆形光斑的准分子激光器，包括一激光器放电腔，所述放电腔内设置有成对设置的放电电极，所述放电电极绕放电腔腔体中心轴呈螺旋形分布，成对设置的放电电极的电极正面相对设置，构成对称的双螺旋结构。所述放电电极可以是采用螺旋形电极条；也可以由若干个绕放电腔腔体中心轴呈螺旋形分布的小长条形电极条组成。使用本发明的准分子激光器可以直接产生能量均匀的圆形光斑，而不需要添加光学整形器等光学组件对长方形的激光光斑进行整形。

主权项

1.一种产生圆形光斑的准分子激光器，包括一激光器放电腔(1)，所述放电腔(1)内设置有成对设置的放电电极，其特征在于：所述放电电极绕放电腔(1)腔体中心轴呈螺旋形分布，成对设置的放电电极的电极正面相对设置，构成对称的双螺旋结构。