光学部品

摘要

基体１１の表面に光学多層膜１３を蒸着加工して成る光学部品において、光学多層膜１３のうち高屈折率層の材料をニオブ含有亜酸化チタンにより形成することにより、当該ニオブ含有亜酸化チタンを蒸着して形成される薄膜をアモルファス状態としながらも導電性を向上させることできるようにして、導電性を上げることを目的として結晶性を高めるための再加熱処理を行うことなく、かつ、３種類の材料を扱うために蒸着装置を改造することなく、高い帯電防止性を得ることができるようにする。