液体酸化チタン組成物、それを形成するための方法、およびそれを用いて基材の、または基材を被覆する物質層をエッチングするための方法

摘要

液体酸化チタン組成物、そのような組成物を形成するための方法、およびそのような組成物を用いて物質層をエッチングするための方法が提供される。代表的な実施形態によると、液体酸化チタン組成物は、溶媒系、有機チタネート、および約１４０℃から約４００℃の範囲の沸点を有する高沸点溶媒を含有する。