| 摘要 |
兹提供一种将用以测试半导体制造工具之测试基材再生，其系藉由从资料库中读取执行于各测试基材上之制程步骤，且从复数个再生制程中选择一再生制程以用于再生各测试基材。辨识执行于各测试基材上之制程，及为各测试基材选择之再生制程的资讯，可储存于测试基材历史资料库中。将各测试基材分类且置入同一群测试基材中，其等具有一指定予该群测试基材之共同再生制程。内部储存有已分类测试基材之储藏箱可各标示识别资讯，系包括在为储存于该储藏箱内之测试基材选择的再生制程之基本或详细资讯。该资讯也可包括在各储藏箱中之测试基材的清单。辨识储存于各储藏箱之测试基材，及为测试基材选定之再生制程的资讯，也可储存在该等储藏箱之资料库中。已分类之测试基材可由自动化系统中之再生操作员从储藏箱移走，其中系由适当读取器从各测试基材读取一识别码。指定予各测试基材之再生制程可从提供给操作者之资料库中读出，以在再生该测试基材前，验证那一个再生制程系被指定予各测试基材。 |
