用以决定一基材相对于一支撑平台之位置的方法与设备

摘要

兹提供一种包括数个探针之感应系统，该等探针系以间隔关系配置在一用于支撑基材之站台的周围。每一探针包括一侦测部，其系用以由一已知起始位置移向该基材(由该站台所支撑)的边缘；侦测该基材(由该站台所支撑)之边缘；在侦测之后产生一侦测讯号；且在侦测后停止移向该基材之边缘。一控制器可用于判定该基材相对于该站台之边缘位置，其系依据各侦测部之该已知起始位置及每一侦测部所产生之侦测讯号作判定。本发明并提供许多其他的态样。