| 摘要 |
프로브 유닛의 탐침들로서 사용되는 연성 콘택 필름을 제조하는 방법이 개시된다. 먼저, 절연층과 상기 절연층 상에 형성된 도전층을 포함하는 연성 필름이 마련되며, 이어서 접착제를 이용하여 상기 연성 필름의 절연층이 희생 기판 상에 부착된다. 상기 도전층 상에는 다수의 콘택 패턴들이 형성되며, 후속하여 상기 콘택 패턴들 사이의 도전층 부위들이 제거된다. 마지막으로, 상기 희생 기판을 제거하여 상기 연성 콘택 필름을 완성한다. 상기와 같이 접착제를 이용하여 미리 마련한 연성 필름을 상기 희생 기판 상에 부착하고 연성 콘택 필름의 완성 후 상기 희생 기판을 제거하므로 상기 연성 콘택 필름의 제조 공정이 크게 단순화되며 또한 제조 비용이 크게 절감될 수 있다. |
