SILICON CONTAINING HALOGENIDE METHOD FOR PRODUCING THE SAME AND USE OF THE SAME

摘要

할로겐화된 폴리실란의 열 분해에 의해 얻어지는 할로겐화물-함유 실리콘과 이러한 실리콘의 제조 방법이 기술된다. 실리콘은 1 at% 내지 50 at%의 할로겐 함량을 가진다. 또한, 할로겐화물을 함유한 실리콘을 야금 실리콘의 정제를 위해 이용하는 것이 설명된다.