发明名称 Method of manufacturing the semiconductor chip
摘要 반도체 칩의 제조 방법을 제공한다. 반도체 칩의 제조 방법은 회로 영역들이 형성된 반도체 기판을 마련하고, 반도체 기판 내부에 레이저를 조사하여, 손상층을 형성하고, 반도체 기판을 연마하여, 회로 영역들을 각각 분리시켜 반도체 칩들을 형성하는 것을 포함한다. 이때, 손상층은 상기 반도체 기판이 연마되는 동안 제거된다.
申请公布号 KR101688591(B1) 申请公布日期 2016.12.22
申请号 KR20100110032 申请日期 2010.11.05
申请人 삼성전자주식회사 发明人 박상욱;정태경;송호건;임원철
分类号 H01L21/782;H01L25/065 主分类号 H01L21/782
代理机构 代理人
主权项
地址