CIRCULATING COOLING/HEATING DEVICE

摘要

플라즈마 에칭 장치의 챔버에 대하여 공급되는 순환 유체를 냉각 가열하는 순환 냉각 가열 장치에 있어서, 순환 유체를 저류하는 탱크(10)와, 순환 유체를 탱크(10) 및 챔버의 사이에서 순환시키는 펌프와, 순환 유체와 냉각수와의 사이에서 열교환을 행하는 열교환기(14)와, 탱크(10) 내의 순환 유체를 가열하는 가열 수단(17)을 구비하고, 열교환기(14)를, 탱크(10) 내의 순환 유체에 침지시켰다.