プラズマ処理中の放電を監視するための装置および方法

摘要

電力発生器（１４）から当該電力発生器の周期的に変化する出力信号（１９）によって電力の供給を受けるプラズマ処理中の放電を監視する方法および装置であって、前記放電は特に、陰極スパッタリング装置（１３）の電極（１１，１２）間の放電であり、前記方法は、ａ．少なくとも１つのプラズマ給電信号（１９）の少なくとも１周期内の少なくとも１つの第１の期間中に、当該プラズマ給電信号（１９）の少なくとも１つの第１の信号推移（２）を取得するステップと、ｂ．少なくとも１つのプラズマ給電信号（１９）の少なくとも１つの別の周期内の、前記第１の期間に対応する位置にある少なくとも１つの第２の期間中に、当該プラズマ給電信号（１９）の少なくとも１つの第２の信号推移（６）を取得するステップと、ｃ．前記第２の信号推移（６）が少なくとも、最小時間差（２２）と最小信号振幅差（２１）とを示す間隔だけ前記第１の信号推移から偏差する場合、検出信号を生成するステップとを有する。上述の方法により、特にアークを非常に高信頼性かつ非常に迅速に識別することができる。