发明名称 METHOD OF DETERMINING ELECTROPHYSICAL PROPERTIES OF SEMICONDUCTORS
摘要
申请公布号 SU600482(A1) 申请公布日期 1978.03.30
申请号 SU19752195791 申请日期 1975.12.01
申请人 TBILISSKIJ G UNIVERSITET 发明人 GOLOVKO ARTUR G,SU
分类号 H01L21/66;G01R31/26;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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