发明名称 SPUTTER-ION PUMP
摘要
申请公布号 JPH04248239(A) 申请公布日期 1992.09.03
申请号 JP19910023955 申请日期 1991.01.24
申请人 ANELVA CORP 发明人 KOBAYASHI HIDEKI
分类号 H01J41/18 主分类号 H01J41/18
代理机构 代理人
主权项
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