PLASMA TREATING APPARATUS,申请号JP19910157590-传众专利搜索

发明名称	PLASMA TREATING APPARATUS
摘要
申请公布号	JPH0598432(A)	申请公布日期	1993.04.20
申请号	JP19910157590	申请日期	1991.05.31
申请人	SHIMADZU CORP	发明人	SUZUKI JUNICHI
分类号	C23C14/34;H01L21/203;H01L21/285	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
主权项
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